SATOVAC佐藤真空PHIL HSV-6-40 深圳岩濑商业股份有限公司

HSV-6-40_真空蒸发装置_SATOVAC佐藤真空PHIL

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产品名称：HSV-6-40_真空蒸发装置_SATOVAC佐藤真空PHIL
产品型号：HSV-6-40
产品展商：PHIL佐藤真空株式会社
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简单介绍

HSV-6-40_真空蒸发装置_SATOVAC佐藤真空PHIL 当社の蒸着装置は、大学などの各研究機関の実験装置をはじめ小ロットの生産装置として*も汎用性の高い装置として設計されています。コンパクトな外観と優れた内部機構、コントロール系を有し、排気系は、手動式及び全自動操作が可能です。誘電体膜( 光学系) から、アルミ、クロムなどの金属膜を容易に形成し、その応用は広範囲です。

产品描述

HSV-6-40_真空蒸发装置_SATOVAC佐藤真空PHIL

当社の蒸着装置は、大学などの各研究機関の実験装置をはじめ小ロットの生産装置として*も汎用性の高い装置として設計されています。コンパクトな外観と優れた内部機構、コントロール系を有し、排気系は、手動式及び全自動操作が可能です。誘電体膜( 光学系) から、アルミ、クロムなどの金属膜を容易に形成し、その応用は広範囲です。他に電子ビーム蒸着及び膜厚モニターによる自動蒸着制御タイプ、生産用大型蒸着も製作しております。

主仕様

型　　式	HSV-3-30G	HSV-6-40		HSV-8-50
到達圧力	10^-3Pa order
基板加熱温度	無	Max 300℃
蒸発源（電極）	2対 10V Max150A
バルブ操作	手動	自動	手動	自動	手動
排気系	手動	自動	手動	自動	手動
● 構　　造
ベルジャー	300φ×300H 透明ガラス	400φ×400H　　（水冷式） SUS 304		500φ×500H　　（水冷式） SUS 304
ベルジャー内機構	シャッター機構、抵抗加熱機構	回転機構、シャッター機構、加熱ヒーター、抵抗加熱機構
● 排気系
油拡散ポンプ	3inches	6inches		8inches
真空ポンプ	150L/min	500L/min
主バルブ	3inches	6inches		8inches

国内免费咨询专线：4008-933-365

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