TPS-50ZA_高真空排气装置_SATOVAC佐藤真空PHIL
本システムには、ターボ分子ポンプと油拡散ポンプの2 タイプがあり、さらに補助ポンプとして油回転及びドライポンプを用意し、お客様のニーズに合わせた選択を可能とした高真空排気システムです。
■高真空での各種実験・開発・生産プロセスに対応。
■空冷式により水配管不要、保守の負担を軽減。
■場所を選ばない100V 電源。
■メインフレーム・ベースにアルミを採用、軽量化を実現。
■使いやすさを追求したコンパクト設計。
● MZまたはスクロール型ドライ補助ポンプと組合せてフルドライの排気系に。
● 起動・停止に要する時間が短い。
● 不意の大気導入にも強い構造のターボ分子ポンプを採用。
（注）故意に大気導入を繰返しますと故障の原因となります。
● より低コストで高真空雰囲気を得られます。
● 三方弁の切替機能により、補助ポンプのみの単独排気運転も可能。
● 保守点検が容易。
<TPS>タイプ
<DPS>タイプ
＊ 1. ターボ分子ポンプをベーキング・ガス出し後、ポンプヘッドでの値です。 ＊ 2. 起動時間は吸気口閉め切りでの値です。チャンバー容量により時間が異なります。 ＊ 3. 吸気口閉め切りでの値です。 ＊ 4. 補助ポンプとメインポンプ用として、別々の電源プラグ(2 本）があります。 ＊お客様の使い勝手・仕様に合わせて、各種オプション部品を組込みセットアップする特注バージョンも製作いたします。
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