l 整机体积小、总量轻、噪声低
规格参数: 1. 装置极限真空度小于10Pa 2. 装置年泄漏率小于1% 3. 充气系统压力小于0.8Mpa 4. 系列型号: 4型 真空泵速率 4升/秒(14.4m3/h) 8型 真空泵速率 8升/秒(28.8m3/h) 15型 真空泵速率 15升/秒(54m3/h) 30型 真空泵速率 30升/秒(108m3/h) 70型 真空泵速率 70升/秒(252m3/h)可选用罗茨泵机组 150型 真空泵速率 150升/秒(540m3/h)可选用罗茨泵机组 主要配置: l 真空泵:R5--0040 旋片式真空泵(德国) l 真空表:高精度热偶真空计 l 阀门:不锈钢精密球阀 l 连接管:高压管2根