适合于无尘室1000级以上的烘烤制程,产品在加热过程中,容易产生氧化的加工物及防止微尘附着,均建议用此烤箱烘烤,以电子产业中的祛除水份、胶干燥、调质、预热为主。如IC封装前后制程、晶圆烘烤、LCD配向应用等……