GTW718_真空排气气体过滤器_TAIYO太阳铁工
半導体・液晶製造装置用真空排気ガスフィルター「マルチコレクター」 半導体製造装置の真空排気系では、生成物質により配管が短期間で閉塞、マルチコレクターは、長期間の安定操業を可能にしました。 【特長】 マルチコレクタ内で反応生成物を成長促進させます。 捕捉面積の大きなプリーツ状カートリッジを採用しています。 長期間メンテナンスフリーを実現。 カートリッジは、電着効果 を持たせていますので、サブミクロンの粒子も逃しません。 マルチコレクターの後段の配管のメンテナンスは、長期間不要。 PCVD装置、エッチング装置、イオン注入装置のドライ真空ポンプ前段又は後段に設置し、真空排気系のトラブルを低減します。 冷却ユニットを設置する事により、生成物を強制析出させ、カラムライフを飛躍的に延ばします。 【主な用途】 PCVD装置の真空、排気ラインのトラブル防止 エッチング装置の排気側ラインの配管閉塞防止 液晶製造装置の排気側ラインの配管閉塞防止 イオン注入装置、PCVD装置の真空ポンプの安定稼動 排ガス除害装置の寿命の安定化 【備考】 テスト機の貸出しできます。詳細はお問い合わせください。 国内免费咨询专线：4008-933-365
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