SRV4320，小型溅射装置，SHINKO神港精机
产品特点：
SRV4000シリーズスパッタリング装置は、Φ100mmカソードを３元と、Φ320の基板台を有し、各種選定機能を持つR&D用バッチ型スパッタリング装置のベストセラー機です
产品用途：
研究開発用に標準化された平行平板タイプのバッチ型スパッタリング装置です SRV3000シリーズは、大学あるいは研究機関等での基礎研究実験に適し、優れた成膜性能に加えコストパフォーマンスに徹した装置設計となっています。 上位機種である、SRV4000、SRV6000 の各シリーズもご用意しており各種装置構成のコンパクト化を追求し、小型省スペースを実現しております。 また、主排気ポンプおよび電源等のあらゆる機構・機能を各種選択する事によりお客様のニーズにお応えします
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