7857S振板，KAIJO楷捷カイジョー
KAIJO高频超声波清洗机HIMEGASONIC产品简介:
Si圆片、GaAs的清洗,液晶玻璃及其其他玻璃面罩的清洗,硬盘清洗,石英
振荡器清洗,薄膜磁头清洗,脆性材料等的超精密超声波清洗.
Haimega除去小于45纳米时所需的超微粒、如半导体和液晶显示器.
特点：
振荡器
●内置
自诊断功能(CPU)可以反馈集中控制(RS485,D-NET),输出的运行状态,
可以与上位机进行通信交流内脏CPU.
●数字显示输出
3位数字显示,运行状态管理的管理,可以进行高精度始终是可能的.
●较低的判断功能,
可以执行上的上限和下限的报警显示,状态显示振荡也有可能是触点输出.
●自动跟踪方法PLL频率
深种溶液,液体：KAIJO自己PLL的方案,其振荡频率为自动优化
等(高达70度),有可能 发生变化的液体的温度.
●功率MOS FET的高效率振荡,振荡的高效率是可能的.
●损伤小,
可控制的精细图案的*佳状态,我们应对200/300mm晶圆清洗。
发振器配置 项目 规格 型号名称 68101 78101 78102 输出功率 600W 900W 900W 工作频率 950KHZ 950KHZ 750KHZ 发振方式 VCO 频率调整 自動追尾PLL方式 工作显示 3位七段LED显示 远程控制机构 有 使用环境温度 0~40℃ 使用环境湿度 0~80% 工作电源 AC200V 6A AC200V 9.5A AC200V 9.5A 外形尺寸 3200×5200×144 460×500×143 460×500×143 重量 约17㎏ 约25㎏ 振动板配置 使用规格 6寸晶圆 8寸晶圆 12寸晶圆 振动板规格 7857S 8857S 98SL 额定输入 300Wx4 300Wx6 300Wx16 频率 950kHz 950kHz 750kHz 振动辐射面(mm) 136x163 165x215 275x319 振动板材质 SU316L 使用*高温度 70℃ 外形尺寸 185x215x55 255x305x55 410x340x65 固定方式 螺丝固定 特点■隔膜 ●振动元件是大P. Z.由于振动元件T,有没有不均匀清洗. ●非常高的功率密度,清洁能力非常出色.(5.4W /约2厘米)的 厚度,因为它是厚 ●具有优良的机械强度,寿命长,省心,还内置了洗涤槽. ●高效率声几乎没有损失. ●少的接缝的装置,*好的清洗效果可以预期. ●SU304,316,316 L为三种类型的材料是准备就绪 特点■洗涤槽 ●商品化的超声波浴石英振子直接键合到石英容器. 相比传统的双室超声波照射(1.2倍以上相比,我们的)强.这是的**技术Kaijo. ●支持两种类型的室温(50℃*高),高温(80℃*高)是可以使用的液体温度. ●我们还生产不锈钢水槽。 7857S振板，KAIJO楷捷カイジョー，国内免费咨询电话：4008-933-365。
发振器配置
项目
规格
型号名称
68101
78101
78102
输出功率
600W
900W
工作频率
950KHZ
750KHZ
发振方式
VCO
频率调整
自動追尾PLL方式
工作显示
3位七段LED显示
远程控制机构
有
使用环境温度
0~40℃
使用环境湿度
0~80%
工作电源
AC200V 6A
AC200V 9.5A
外形尺寸
3200×5200×144
460×500×143
重量
约17㎏
约25㎏
振动板配置
使用规格
6寸晶圆
8寸晶圆
12寸晶圆
振动板规格
7857S
8857S
98SL
额定输入
300Wx4
300Wx6
300Wx16
频率
950kHz
750kHz
振动辐射面(mm)
136x163
165x215
275x319
振动板材质
SU316L
使用*高温度
70℃
185x215x55
255x305x55
410x340x65
固定方式
螺丝固定
特点■隔膜
●振动元件是大P. Z.由于振动元件T,有没有不均匀清洗.
●非常高的功率密度,清洁能力非常出色.(5.4W /约2厘米)的
厚度,因为它是厚
●具有优良的机械强度,寿命长,省心,还内置了洗涤槽.
●高效率声几乎没有损失.
●少的接缝的装置,*好的清洗效果可以预期.
●SU304,316,316 L为三种类型的材料是准备就绪
特点■洗涤槽
●商品化的超声波浴石英振子直接键合到石英容器.
相比传统的双室超声波照射(1.2倍以上相比,我们的)强.这是的**技术Kaijo.
●支持两种类型的室温(50℃*高),高温(80℃*高)是可以使用的液体温度.
●我们还生产不锈钢水槽。
7857S振板，KAIJO楷捷カイジョー，国内免费咨询电话：4008-933-365。
粤公网安备 44030902000469号
