78102高频超声波清洗机，KAIJO楷捷カイジョー。
KAIJO高频超声波清洗机HIMEGASONIC产品简介:
Si圆片、GaAs的清洗,液晶玻璃及其其他玻璃面罩的清洗,硬盘清洗,石英
振荡器清洗,薄膜磁头清洗,脆性材料等的超精密超声波清洗.
Haimega除去小于45纳米时所需的超微粒、如半导体和液晶显示器.
特点：
振荡器
●内置
自诊断功能(CPU)可以反馈集中控制(RS485,D-NET),输出的运行状态,
可以与上位机进行通信交流内脏CPU.
●数字显示输出
3位数字显示,运行状态管理的管理,可以进行高精度始终是可能的.
●较低的判断功能,
可以执行上的上限和下限的报警显示,状态显示振荡也有可能是触点输出.
●自动跟踪方法PLL频率
深种溶液,液体：KAIJO自己PLL的方案,其振荡频率为自动优化
等(高达70度),有可能 发生变化的液体的温度.
●功率MOS FET的高效率振荡,振荡的高效率是可能的.
●损伤小,
可控制的精细图案的*佳状态,我们应对200/300mm晶圆清洗。
78102高频超声波清洗机，KAIJO楷捷カイジョー。
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发振器配置
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项目
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规格
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型号名称
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68101
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78101
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78102
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输出功率
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600W
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900W
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900W
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工作频率
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950KHZ
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950KHZ
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750KHZ
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发振方式
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VCO
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频率调整
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自動追尾PLL方式
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工作显示
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3位七段LED显示
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远程控制机构
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有
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使用环境温度
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0~40℃
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使用环境湿度
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0~80%
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工作电源
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AC200V 6A
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AC200V 9.5A
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AC200V 9.5A
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外形尺寸
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3200×5200×144
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460×500×143
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460×500×143
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重量
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约17㎏
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约25㎏
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振动板配置
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使用规格
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6寸晶圆
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8寸晶圆
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12寸晶圆
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振动板规格
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7857S
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8857S
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98SL
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额定输入
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300Wx4
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300Wx6
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300Wx16
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频率
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950kHz
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950kHz
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750kHz
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振动辐射面(mm)
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136x163
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165x215
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275x319
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振动板材质
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SU316L
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使用*高温度
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70℃
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外形尺寸
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185x215x55
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255x305x55
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410x340x65
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固定方式
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螺丝固定
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特点■隔膜
●振动元件是大P. Z.由于振动元件T,有没有不均匀清洗.
●非常高的功率密度,清洁能力非常出色.(5.4W /约2厘米)的
厚度,因为它是厚
●具有优良的机械强度,寿命长,省心,还内置了洗涤槽.
●高效率声几乎没有损失.
●少的接缝的装置,*好的清洗效果可以预期.
●SU304,316,316 L为三种类型的材料是准备就绪
特点■洗涤槽
●商品化的超声波浴石英振子直接键合到石英容器.
相比传统的双室超声波照射(1.2倍以上相比,我们的)强.这是的**技术Kaijo.
●支持两种类型的室温(50℃*高),高温(80℃*高)是可以使用的液体温度.
●我们还生产不锈钢水槽。
78102高频超声波清洗机，KAIJO楷捷カイジョー，国内免费咨询电话：4008-933-365。
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