在半导体制造领域,晶圆的高精度检测是确保产品质量和生产效率的核心环节。TAKEX(竹中电子)作为全球领xian的传感器技术供应商,凭借其创xin的ASW系列梳齿型晶圆映射传感器,为行业提供了可靠的解决方案。本文将重点介绍TAKEX的两款明星产品——ASW-SG85F和ASW-SG625AP,解析其技术参数与核心优势。
一、ASW系列传感器:专为晶圆检测而生
TAKEX的ASW系列传感器专为半导体制造中的晶圆检测设计,尤其适用于检测碳化硅(SiC)、蓝宝石、硅等半透明晶圆。其核心功能包括晶圆数量统计、残缺检测以及盒式载具(如FOUP)的晶圆状态监控。通过高精度光学技术和智能化设计,ASW系列可显著提升生产良率并降低维护成本。
二、ASW-SG85F与ASW-SG625AP产品参数与特性
1. ASW-SG85F
检测对象:支持6英寸、8英寸及12英寸半透明晶圆,透光率覆盖范围广(正常模式≤30%,锁存模式≤70%)。
检测通道:多通道设计,支持高效并行检测,确保快速响应(响应时间≤35ms)。
抗干扰能力:内置静电防护机制,避免因静电导致的误检或设备损坏。
输出模式:NPN开路集电极输出,兼容多种工业控制系统,支持输出锁存模式切换(通过开关控制)。
安装灵活性:采用机器人专用电缆(6/8英寸型号),支持紧凑空间安装,适应复杂产线布局。
2. ASW-SG625AP
核心功能:专为高透光率晶圆优化,可精准检测碳化硅等特殊材料晶圆的存在与位置。
光源与波长:采用红外LED光源(波长870nm),穿透性强,确保在复杂光环境下的稳定��。
维护便捷性:梳状传感器单元支持快速更换,单次操作即可完成维护,大幅减少停机时间。
智能诊断:内置自诊断功能,可实时监测传感器状态(如光强度异常、外部干扰),并通过故障输出信号提示维护需求。
兼容性:符合CE标准(8/12英寸型号),适配全球主流半导体设备厂商的接口协议。
三、ASW系列的核心优势
1. 高精度与稳定性:通过红外光源与多通道检测技术,即使在半透明或高反射材料上也能实现亚毫米级精度。
2. 抗干扰设计:静电免ui结构与光发射禁止功能,确保在复杂工业环境中的可靠运行。
3. 智能化运维:远程教学功能可通过外部输入重置灵敏度,结合故障自诊断,降低人工干预频率。
4. 灵活适配:机器人电缆与离散输出设计,支持多传感器并联控制,适用于自动化产线集成。
四、应用场景与客户价值
ASW-SG85F与ASW-SG625AP广泛应用于半导体前端制造、封装测试及晶圆存储环节,尤其在以下场景表现卓yue:
FOUP晶圆盒检测:实时监控载具内晶圆数量与完整性,避免空盒或残次品流入下一工序。
高速产线:快速响应与高吞吐量设计,适配每分钟数百片晶圆的高速分选设备。
严苛环境:耐振动(10-55Hz)与抗冲击(300m/s²)性能,保障设备在震动环境下的长期稳定。
五、结语
TAKEX的ASW-SG85F与ASW-SG625AP凭借其技术创xin与工业级可靠性,已成为半导体制造领域的关键设备。无论是提升检测效率,还是降低运维成本,这两款传感器均为客户提供了值得信赖的解决方案。如需了解更多技术细节或获取定制化服务,请联系岩濑商事,获取专业支持。
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